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215萬(wàn)元采購(gòu)物理氣相沉積設(shè)備
2020年05月16日 17:28:46 來(lái)源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：4801

為了進(jìn)一步提升實(shí)驗(yàn)室的能力，為科技成果的快速轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化提供強(qiáng)力引擎，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室計(jì)劃采購(gòu)新型儀器。

　　【化工儀器網(wǎng) 采購(gòu)招標(biāo)】松山湖材料實(shí)驗(yàn)室成立于2018年，是廣東省首批啟動(dòng)建設(shè)的四家廣東省實(shí)驗(yàn)室之一。由東莞市政府、中國(guó)科學(xué)院物理研究所和中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所共建。作為有影響力的新材料研發(fā)南方基地、未來(lái)國(guó)家物質(zhì)科學(xué)研究的重要組成部分、粵港澳交叉開(kāi)放的新窗口以及具有品牌效應(yīng)的粵港澳科研中心，實(shí)驗(yàn)室為國(guó)家材料科學(xué)重大領(lǐng)域的研究和關(guān)鍵技術(shù)的創(chuàng)新突破，提供穩(wěn)定、專(zhuān)業(yè)和先進(jìn)的科學(xué)技術(shù)支撐和人才輸出。
 
　　為了進(jìn)一步提升實(shí)驗(yàn)室的能力，為科技成果的快速轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化提供強(qiáng)力引擎，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室計(jì)劃采購(gòu)新型儀器。5月15日，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室委托國(guó)科東儀(廣東)項(xiàng)目管理有限公司根據(jù)相關(guān)法律法規(guī)相項(xiàng)目編號(hào)為441900-202005-0099990033-0005的物理氣相沉積設(shè)備組織公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)。
 

 
　　招標(biāo)公告顯示，本項(xiàng)目預(yù)算215萬(wàn)元采購(gòu)一套用于藍(lán)寶石襯底的高質(zhì)量氮化鋁預(yù)沉積，為后續(xù)MOCVD生長(zhǎng)GaN/AlN基LED發(fā)光器件提供襯底基礎(chǔ)的物理氣相沉積設(shè)備。據(jù)悉，該設(shè)備的氣相沉積模塊要求其在沉積過(guò)程中能夠?qū)崿F(xiàn)能夠?qū)崿F(xiàn)氮?dú)狻⒀鯕馀c氬氣三種氣體的混合通入，氬氣、氮?dú)馀c氧氣的氣體大流量為200、200與5sccm；能夠?qū)崿F(xiàn)400~700 ℃的溫度控制；加熱利用近紅外燈絲輻照裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)72秒內(nèi)室溫升至700 ℃的快速加熱，且溫度不均勻性小于3%；樣品托具有自動(dòng)傳輸功能，能夠?qū)崿F(xiàn)2至8寸片的自動(dòng)傳輸。此外，其軟件功應(yīng)當(dāng)能實(shí)現(xiàn)對(duì)氣相沉積模塊生長(zhǎng)過(guò)程中條件的精確控制，包括氬氣、氮?dú)馀c氧氣的分壓，溫度與濺射功率等。
 
　　在中華人民共和國(guó)境內(nèi)依法注冊(cè)的，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力，遵守國(guó)家法律法規(guī)，具有良好信譽(yù)，具有履行合同能力和良好的履行合同的記錄，具有良好資金、財(cái)務(wù)狀況的法人實(shí)體以及符合《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條要求的儀商可在2020年5月22日之前，到采購(gòu)代理單位處獲取招標(biāo)文件，并在2020年6月5日9時(shí)30分之前將標(biāo)書(shū)投遞至廣東省東莞市莞城街道旗峰路莞城段200號(hào)1單元中天大廈602開(kāi)標(biāo)室。
 
　　相信本項(xiàng)目?jī)x器的投入使用能有效拓展實(shí)驗(yàn)室的各項(xiàng)工作，且本項(xiàng)目還落實(shí)了政府采購(gòu)促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展、支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展、促進(jìn)殘疾人就業(yè)、鼓勵(lì)采購(gòu)節(jié)能環(huán)保產(chǎn)品等政府采購(gòu)政策，為此，希望感興趣的儀商能積極參與本項(xiàng)目的招投標(biāo)活動(dòng)。
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