化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
聲學所設計出新型聲表面波溫度傳感器件
2020年08月20日 09:11:18
來源：聲學研究所 點擊量：4810
中國科學院聲學研究所超聲技術中心博士生李學玲及其導師王文等，采用短脈沖法提取精確的反射系數，并用典型的耦合模 (coupling of modes，COM)模型，對LGS/Pt結構聲表面波溫度傳感器件進行優化設計，仿真和試驗證明該器件具有良好的高溫傳感性能。相關研究成果在線發表在Sensors上。
【化工儀器網 科技前沿】高溫環境引起的熱輻射損耗會導致傳感器器件有較大的聲波衰減，因此在這種環境下工作的傳感器應具有足夠大的品質因數(Q)且損耗較低。傳統的有線有源傳感器不能用于高溫環境下的溫度測量，而基于聲表面波(surface acoustic wave，SAW)的無線無源溫度傳感器為此提供了良好的解決方案。
中國科學院聲學研究所超聲技術中心博士生李學玲及其導師王文等，采用短脈沖法提取準確的反射系數，并用典型的耦合模 (coupling of modes，COM)模型，對LGS/Pt結構聲表面波溫度傳感器件進行優化設計，仿真和試驗證明該器件具有良好的高溫傳感性能。相關研究成果在線發表在Sensors上。
研究人員基于不同Pt膜厚與波長比的LGS/Pt器件的結構開展實驗研究。科研人員采用小二乘法對實驗數據進行擬合，得出反射系數計算公式，利用有限元方法提取Pt/LGS的其他COM參數，通過典型的COM模型對Pt/LGS結構的單端口諧振器進行模擬，并確定了具有較大Q值的設計參數。
研究人員利用光刻技術研制400MHz單端口聲表面波諧振器，用網絡分析儀對其測量得到較高的Q值，測量結果與模擬結果吻合良好。在50～650℃的溫度范圍里，測試所制備的傳感器件的高溫特性，測試結果顯示其具有良好的穩定性和線性TCF( ～25 ppm/°C.)，證明該器件具有較好的高溫傳感性能。
研究表明，聲表面波高溫傳感技術可用于高溫環境下的高靈敏度溫度監測和預警。
研究工作得到國家自然科學基金聯合重點基金項目等的資助。
相關閱讀 Related Reading
查看更多+-
近日，復旦大學集成電路與微納電子創新學院研究團隊、腦科學研究團隊，聯合中國科學院上海技術物理研究所團隊，經過7年攻關，共同開發出全...2025-06-06 11:27:15
-
賦能智能制造與安全運行的“精準之眼”，高精度壓力測量及校準線上會議即將開啟
2025年6月4日13:00，為突破測量精度極限、構建全生命周期校準體系，化工儀器網聯合福祿克測試儀器(上海)有限公司，共同舉辦“...2025-06-03 10:37:49 -
中國科學院自動化研究所從自然界魚類身上的側線系統獲得啟發，開發了一種名為FlowSight的仿生側線傳感器。2025-05-22 11:40:00
-
致力于推動國產工業溫控智能化 普泰克驚艷亮相CIBF2025
作為工業溫控領域的技術型企業，普泰克(上海)制冷設備技術有限公司(以下簡稱“普泰克”)攜其核心產品——新能源部件測試溫控系統驚艷亮...2025-05-19 10:48:45 -
近日，《自然》期刊宣布將于2026年1月推出《健康》《傳感》兩本子刊。2025-05-12 11:30:09
-
項目名稱：福建漳州核電廠3、4號機組安全級導波雷達液位變送器，項目編號：0739-254CNEIC2D02，招標范圍：福建漳州核電...2025-05-09 14:36:56
版權與免責聲明
- ①凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- ②本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- ③如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
