化工儀器網(wǎng)手機版
移動端訪問更便捷
今日焦點 Today's Focus
查看更多+-
干貨滿滿！“第二屆ICP-MS及ICP-MS/MS創(chuàng)新成果線上會議”開課在即
2025年6月20日14:00為了深入交流ICP-MS與ICP-[詳細]
最新產(chǎn)品 Latest productS
查看更多+
中科大團隊實現(xiàn)平面內(nèi)大量程高精度非接觸感測
2024年01月17日 10:18:00
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：13747
中國科學技術大學光電子科學與技術安徽省重點實驗室微納光學與技術課題組教授王沛和副教授魯擁華在精密位移的光學感測研究方面取得新進展，設計了一種光學超表面，將二維平面的位移信息映射為雙通道偏光干涉的光強變化，實現(xiàn)了平面內(nèi)任意移動軌跡的大量程、高精度的非接觸感測。
【化工儀器網(wǎng) 項目成果】光學測量是一項利用光的性質(zhì)進行精確測量的先進技術。光學在精密測量中則是一個非常廣泛且重要的應用，因為光學提供了非常優(yōu)秀的三維空間信息、精細而穩(wěn)定的控制手段以及精細而且高速的信號處理等優(yōu)勢。光學測量技術的出現(xiàn)，使我們能夠在工業(yè)、醫(yī)學、航空航天和許多其他領域進行更精確、高效的測量。
納米級長度和位移測量是光學精密測量領域的重要基礎研究課題，在半導體疊對誤差測量、精密對準與跟蹤等方面具有關鍵作用。傳統(tǒng)的光學干涉儀雖然可以實現(xiàn)納米及亞納米的測量精度，但系統(tǒng)復雜、易受環(huán)境干擾。
中國科學技術大學光電子科學與技術安徽省重點實驗室微納光學與技術課題組教授王沛和副教授魯擁華在精密位移的光學感測研究方面取得新進展，設計了一種光學超表面，將二維平面的位移信息映射為雙通道偏光干涉的光強變化，實現(xiàn)了平面內(nèi)任意移動軌跡的大量程、高精度的非接觸感測。
此前，王沛、魯擁華課題組基于微納結構光場調(diào)控技術發(fā)展出了一些位移感測技術，實現(xiàn)了亞納米的測量精度。但是這些一維位移測量技術在跟蹤面內(nèi)移動的應用中需要克服裝配誤差，限制了測量的穩(wěn)定性和可靠性。為此，課題組進一步提出了一種基于超表面光場調(diào)控的二維位移精密測量的光學新技術。他們設計了一種超表面，不僅可以實現(xiàn)二維的光學衍射，且能夠同時定制每個衍射級次光場的偏振態(tài)，利用不同衍射級次組合的雙通道偏光干涉，同時記錄二維平面內(nèi)的任意位移。通過相位解算算法從雙通道偏光干涉光強中獲得高精度、大量程的二維位移信息。實驗證明該位移測量技術的精度可以達到0.3納米，測量量程達到200微米以上。
研究人員介紹，該技術能夠同時測得二維位移信息，可有效被用于跟蹤二維平面內(nèi)的任意復雜運動。課題組相關研究工作拓展了光學超表面的應用領域，提升了精密位移光學傳感技術的可靠性和集成度，展示了超表面光場調(diào)控能力對傳統(tǒng)光學技術的賦能作用。
相關研究成果High-precision two-dimensional displacement metrology based on matrix metasurface于近日在線發(fā)表于《SCIENCE ADVANCES(科學進展)》
參考來源：中國科學報
相關閱讀 Related Reading
查看更多+-
項目名稱：矢量網(wǎng)絡分析儀采購，項目編號：0843-254DCZ202501，招標范圍：矢量網(wǎng)絡分析儀 1套，招標機構：大連機械設備...2025-06-13 13:57:52
-
經(jīng)市場監(jiān)管總局批準，全國宇航專用計量測試技術委員會正式成立，秘書處設在北京航天計量測試技術研究所。2025-06-13 11:18:30
-
助力計量產(chǎn)業(yè)園建設！市場監(jiān)管總局提出9項具體措施
為進一步推動計量產(chǎn)業(yè)園建設，近日，市場監(jiān)管總局印發(fā)《關于支持計量產(chǎn)業(yè)園建設的若干措施》，圍繞4個方面提出9項具體措施，助力計量產(chǎn)業(yè)...2025-06-12 11:17:29 -
富煌鋼構擬11.4億跨界并購中科視界 切入高端科學儀器領域?qū)で筠D(zhuǎn)型
富煌鋼構擬以11.4億元收購高速視覺技術企業(yè)合肥中科君達視界100%股權，同時配套募資不超過4億元。富煌鋼構旨在通過切入高速視覺領...2025-06-11 11:08:13 -
9項舉措！助力我國計量產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展
6月10日，市場監(jiān)管總局印發(fā)《關于支持計量產(chǎn)業(yè)園建設的若干措施》。旨在進一步推動計量產(chǎn)業(yè)建設，增強計量產(chǎn)業(yè)的集聚優(yōu)勢，提升計量產(chǎn)業(yè)...2025-06-11 10:07:28 -
《計量測試關鍵技術創(chuàng)新攻關行動方案》明確以全球科技革命和產(chǎn)業(yè)變革為契機，聚焦計量測試領域“測不了、測不全、測不準”的核心痛點，系統(tǒng)...2025-06-05 09:38:16
版權與免責聲明
- ①凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- ③如涉及作品內(nèi)容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
