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PHI ADEPT010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀D-SIMS|束蘊(yùn)儀器

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束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司自成立以來,憑借與德國布魯克(BRUKER)、國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)、德國Freiberg等國際實(shí)驗(yàn)室分析儀器品牌的戰(zhàn)略合作,迅速成為業(yè)界儀器供應(yīng)商。

我們擁有一支積極樂觀,正直誠信的年輕團(tuán)隊(duì),我們熱忱的信仰科學(xué),相信科學(xué)技術(shù)能為我們的客戶帶來質(zhì)量較高的生活,為社會(huì)的進(jìn)步起到積極的促進(jìn)作用。

束蘊(yùn)儀器為各類客戶提供完善的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)檢測儀器及過程控制設(shè)備,專業(yè)的應(yīng)用支持及完善的售后服務(wù),在中國大陸的諸多領(lǐng)域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天、國家機(jī)關(guān)、檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)及工業(yè)企業(yè),產(chǎn)品覆蓋了醫(yī)藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個(gè)行業(yè)。公司的宗旨:為客戶量身打造適合的綜合解決方案,技術(shù)支持和現(xiàn)場服務(wù),系統(tǒng)高效的客戶培訓(xùn),快速及時(shí)的售后服務(wù)。

束蘊(yùn)儀器,讓世界更清晰!

主營儀器設(shè)備:

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀(ESR/EPR)、臺(tái)式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學(xué)輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 授權(quán)代理商

--PDF衍射數(shù)據(jù)庫、JADE軟件--國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)授權(quán)代理商

--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺(tái)式PID潛在誘導(dǎo)退化測試儀、釋光測定儀等--德國Freiberg Instruments授權(quán)代理商



單位名稱:束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司

詳細(xì)地址:上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號(hào)樓602室









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  動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry,簡稱D-SIMS)是一種用于固體材料成分分析的高靈敏度表面分析技術(shù)。
 
  ADEPT-1010 專為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì),是大 多數(shù)半導(dǎo)體開發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具。通過優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng) 和超高真空設(shè)計(jì),提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測中的摻雜組分和常見雜質(zhì)所需的靈敏度。
 
  工作原理:
 
  動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀通過使用聚焦的高能量一次離子束(如O??、Cs?、Ar?等)轟擊樣品表面,使樣品表面的原子或分子被濺射出來。在這個(gè)過程中,部分濺射出的粒子會(huì)帶電,形成二次離子。這些二次離子被收集并傳輸?shù)劫|(zhì)譜儀中進(jìn)行分析,通過質(zhì)譜分析可以確定樣品的化學(xué)組成和元素分布。
 

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

 



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