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納米壓痕儀簡介：

該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對準(zhǔn)。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻（NIL）。

EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間僅為幾分鐘。其先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到專家級別的所有需求，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。

對于壓印工藝，EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑150毫米不等。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外，還可以包括印章的釋放機(jī)制。EV Group專有的卡盤設(shè)計可提供均勻的接觸力，以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印，該卡盤設(shè)計既支持軟印章也支持硬印章。

納米壓痕儀技術(shù)數(shù)據(jù)：

1) 晶圓直徑（基板尺寸）

2) 標(biāo)準(zhǔn)光刻：碎片蕞大150毫米

3) 柔軟的UV-NIL：蕞大150毫米的碎片

4) 解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

5) 支持流程：柔軟的UV-NIL

6) 曝光源：汞光源或紫外線LED光源

7) 自動分離功能：不支持

8) 工作印章制作：外部

納米壓痕儀特征：

1) 頂部和底部對準(zhǔn)能力

2) 高精度對準(zhǔn)臺

3) 自動楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

4) 電動和配方控制的曝光間隙

5) 支持新的UV-LED技術(shù)

6) 蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

7) 分步流程指導(dǎo)

8) 遠(yuǎn)程技術(shù)支持

9) 多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和配方，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言）

10) 敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

11) 臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版

納米壓痕儀主要應(yīng)用：

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準(zhǔn)系統(tǒng)，支持尺寸從碎片到蕞大150毫米。

附加功能：

1) 鍵對準(zhǔn)

2) 紅外對中

3) 納米壓印光刻

4) 微接觸印刷

納米壓印工藝結(jié)果：

圖1 微鏡頭

圖2 納米壓印結(jié)果（100納米分辨率）

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