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產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 集成了微電子和2個(gè)真空計(jì)于一體，大大節(jié)約了空間
● 超寬的測(cè)量范圍從10ˉ5Torr到1500Torr
● 較經(jīng)濟(jì)的替換成本
● 由于910快速，精確和重復(fù)性的壓力測(cè)量較小了工藝周轉(zhuǎn)的時(shí)間
● 非常容易進(jìn)行模擬輸出和數(shù)字通訊
● 簡(jiǎn)易的安裝于任何位置和方向
● 結(jié)合了半導(dǎo)體LOADLOCK的應(yīng)用
● 可以抵御大氣壓的沖擊和振動(dòng)
● 不受氣體種類的影響，壓電陶瓷規(guī)可以精確測(cè)量大氣壓的壓力
● 3個(gè)設(shè)定點(diǎn)提供了快速地穩(wěn)定地工藝控制
● 符合歐洲CE，EMC標(biāo)志
技術(shù)參數(shù)：
測(cè)量范圍：1.0*10ˉ5 到1,500Torr 或1.3*10ˉ5 到2000Mbar 或1.3*10ˉ3 到200，000Pa
設(shè)定點(diǎn)范圍：1.0*10ˉ4 到1,500Torr 或1.3*10ˉ4 到2000Mbar
或1.3*10ˉ2 到200，000Pa；有3個(gè)設(shè)定點(diǎn)。
校準(zhǔn)氣體： 空氣，氬氣，氦氣，氮?dú)猓瑲錃?，水蒸?br />周圍環(huán)境溫度：0-40℃
可烘烤溫度： 85℃
數(shù)字通訊模式：RS485或RS232
調(diào)變點(diǎn)響應(yīng)時(shí)間：壓電陶瓷規(guī)：≤25毫秒
微皮拉尼規(guī)：≤300毫秒
電源要求：10 到 30VDC，150 毫安，1.5瓦
模擬輸出: 1 到 9 VDC，
重復(fù)性：

大氣壓到 10ˉ2Torr 1%；
10ˉ3 Torr 時(shí) 5%；
10ˉ4 Torr 時(shí) 10%；
測(cè)量精度：

1000Torr 到 10Torr 1%
10Torr 到 10ˉ4Torr 10%
過(guò)壓限制: 1500 Torr
安裝方向：任意方向
內(nèi)部容積： 0.65CM3
材料： 304 不銹鋼
重量：209 克