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海德創業(北京)生物科技有限公司

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EMS300R T大樣本離子濺射鍍膜儀(通用儀器)

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  • 海德創業(北京)生物科技有限公司
  • 2017-04-10 15:40:47
  • 北京市
  • 1471

我要詢價 具體成交價以合同協議為準

【簡單介紹】

大樣本離子濺射鍍膜儀(通用儀器),應對大樣本的鍍膜儀器,腔室足夠大,達到203mm,采用旋轉真空泵抽真空。

【詳細說明】

 

EMS300R T 大樣本離子濺射鍍膜儀(通用儀器)Large Chamber Sputter Coaters 
 

    大樣本離子濺射鍍膜儀(通用儀器)適合SEM(掃描電鏡)、FE-SEM(場發射掃描電鏡)、TEM(透射電鏡)。EMS300R T 與EMS150R T相似,明顯區別是EMS300R T腔室足夠大,達到203mm,采用旋轉真空泵抽真空;此外,它配備三個獨立的濺射頭,確保靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。(注意:既能濺射不易氧化金屬,又能濺射易氧化金屬,另見EMS300T T) 。

特征參數:

    1、 可以進行超大樣本(直徑至203mm)的金屬鍍膜

    2、 三個濺射頭確保濺射沉積質量

    3、 單靶材選擇功能,可以進行小樣本鍍膜

    4、 多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選

    5、 選擇裝配膜厚監測儀可以精確控制膜厚

    6、 全自動觸摸屏控制,快速數字輸入,操作簡便

    7、 可以儲存不同用戶的程序

    8、 能夠記錄100個鍍膜細節

    9、 真空自動控制,且具有真空保持功能

    10、 落入式樣品臺拆裝方便(標配是旋轉樣品臺)

    11、 zui長60分鐘不間斷鍍膜能力

    12、 符合人體工程學的整體注塑機身

    13、 電氣符合CE要求

    14、 三年質保

樣品臺

    EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇,用于滿足目前大部分需求。落入式設計使得不同型號的樣品臺之間更換簡便,樣品臺除了行星臺外其高度均可調,旋轉速度在預設范圍內實現可調。

  • 扁平樣品臺,用于晶圓的鍍膜(152mm-203mm),標配
  • 旋轉樣品臺,50mm,不能傾斜
  • 旋轉傾斜樣品臺,50mm,高度可調(靶材與樣本之間的距離在30-80mm之間可調),傾斜角度在0-30度之間
  • 用于撥片的旋轉臺

加高腔室:需要時可以得到(付費)

儀器參數:

儀器外形尺寸

585mm W x 470mm D x 410mm H

(total height with coating head open: 650mm)

重量

36.4kg

包裝尺寸

725mm W x 660mm D x 680mm H (44.8kg)

工作腔室

高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H

安全保護

整體PET套筒

顯示

145mm x 320mm x 240mm TFT彩顯

使用者界面

直觀的圖形界面,觸摸鍵。記憶功能:維護提醒及zui后100個鍍膜方案日志記錄

濺射靶材

標配三個57 mm Ø x 0.1 mm金靶 (SC502-314A)

 

真空

旋轉真空泵

50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter.

Order separay, 91005.

真空監測

皮拉尼測量

極限真空度

潔凈系統可達 2x10-2 mbar,充氮氣

樣品臺

標配晶圓樣品臺,152mm-203mm,旋轉速度可調。

 

濺射

根據鍍膜厚度或內置的計時器,濺射電流范圍在0-80mA ,zui長濺射時間不超過60分鐘

 

其它重要信息

需要氣體

氬氣 99.999%,氮氣可選(排氣時需要)

電源

90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power.

(注意電壓的選擇)

電氣標準

符合電氣CE認證要求

 

訂購信息:

產品貨號

產品

產品規格

EMS300R T

EMS300R T 大樣品離子濺射鍍膜儀

Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater,

fitted with three sputtering heads to ensure

even metaldeposition. Include three

57mm Ø x 0.3mm gold (Au) sputter targets.

A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm

wafers is fitted as standard

EACH

91005

愛德華旋轉真空泵(單獨購買)Edwards RV5 90L/s two-stage

rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and

oil mist filter

EACH

更多信息請:海德公司hedebio

    
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