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工作原理：射頻發生器產生的頻功率通過感應工作線圈加到三層同心石英炬管上，形成頻振蕩電磁場； 在石英炬管的外層通入氬氣，并進行壓放電產生帶電粒子，帶電粒子在頻電磁場中往復運動與其他氬原子碰撞，產生更多的帶電粒子，同時溫度升，終形成氬氣等離子體，等離子體的溫度可達 6000K～8000K。待測水溶液試樣通過霧化器形成的氣溶膠進入石英炬管中心通道，在溫環境下受到激發，發射出溶液中所含元素的特征譜線；通過對等離子體光源進行采光，并利用掃描分光器進行掃描分光，將待測元素的特征譜線光強準確定位于出口狹縫處，利用光電倍增管將該譜線光強轉變成光電流，再經電路處理和模數變換后，進入計算機進行數據處理，后由打印機打印出分析結果。