超純水脫氧機（或稱無氧水設備）的工藝流程主要用于去除水中的溶解氧，通常應用于電子、制藥、化學等行業中，以確保水質達到更高的要求，避免氧化對設備、產品的影響。以下是常見的超純水脫氧機的工藝流程：
1.預處理
目的：去除水中的大顆粒雜質和其他有害物質，以保護后續設備的正常運行。
步驟：
原水過濾：通過粗濾器或多介質過濾器去除水中的懸浮物、顆粒物和較大的雜質。
活性炭吸附：使用活性炭過濾器去除水中的有機物、氯、異味等物質。
軟化水處理：如果原水中硬度較高，會使用軟化設備（如陽離子交換樹脂）去除鈣、鎂等硬度離子，避免水垢在設備中沉積。
2.超純水處理
目的：進一步提高水質，使水中的溶解物質達到超純水的標準。
步驟：
反滲透（RO）膜：通過反滲透膜對水進行脫鹽處理，去除水中的大部分溶解物質、鹽分、細菌、重金屬等。
電去離子（EDI）裝置：通過電去離子裝置進一步去除水中的離子，確保水達到極低的導電性，一般達到1-10µS/cm。
3.脫氧處理
目的：去除水中的溶解氧，防止氧化反應。
步驟：
脫氧塔：脫氧塔是脫氧過程的核心部分，通常通過將水與惰性氣體（如氮氣）接觸，降低水中的溶解氧濃度。通過氮氣與水中的氧氣反應，水中的氧氣會被氣體帶走或轉化為氧化物。
脫氧劑：在某些系統中，可能還會加入脫氧劑（如亞硫酸氫鈉、亞硫酸鈉等）以幫助去除水中的氧氣。這些脫氧劑通過化學反應與溶解氧結合，形成無害物質，進一步降低水中的氧含量。
4.后處理
目的：進一步確保水質符合最終使用要求，避免水中的殘留物對設備或產品造成影響。
步驟：
超濾（UF）：超濾膜用于去除水中的微小顆粒、細菌等，確保水質更加純凈。
紫外線消毒：在水處理過程中，紫外線消毒可以去除微生物，確保水的無菌狀態，防止微生物滋生。
5.水質監測與控制
目的：確保整個水處理過程的穩定性和水質的合格性。
步驟：
在線監測：通過在線監測設備實時檢測水的pH值、電導率、溶解氧、濁度等指標，確保水質穩定。
自動控制系統：系統通過自動化控制水處理設備的工作狀態，保證各個環節的流量、壓力、溫度等參數在合理范圍內，確保水質達到預定標準。
6.產品水輸出
目的：提供符合要求的無氧水或超純水。
步驟：經過上述處理后的水，通常通過儲水罐存儲，并通過管道輸送到需要使用超純水的設備或生產線。
工藝流程圖簡述
原水→2.預處理（過濾、軟化）→3.反滲透（RO）處理→4.EDI處理→5.脫氧（脫氧塔、脫氧劑）→6.后處理（超濾、紫外線消毒）→7.儲水罐/終端輸出→8.監測與控制
設備關鍵組成部分
反滲透（RO）膜單元
EDI模塊
脫氧塔與氮氣裝置
自動化監測與控制系統
儲水罐與出水管道
總結
超純水脫氧機的工藝流程是通過多級處理，從預處理到超純水制備，再到脫氧與后期處理，確保水中的溶解氧被有效去除，同時保持水質的超純性和符合特定應用的需求。這一過程常用于對水質要求極為嚴格的領域，如半導體、制藥、化工等行業。
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