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氣控閥

化學液體用氣控閥

型號

AMD※※3R?AMG※※3R?GAMD※※3R

化學液體用氣控閥的新標準型。

適用于各種壓力、溫度、流體條件的gao端產(chǎn)品。

可將過去細分用途的機型統(tǒng)一。

行業(yè)

半導體制造工序（前工序）

化學液體供給設備用元件

產(chǎn)品特點：

【擴大使用壓力范圍】

通過采用新密封結構，擴大使用壓力范圍。

A、B口的使用壓力實現(xiàn)通用化。

【酸堿適用】

執(zhí)行器采用耐化學藥品性優(yōu)異的氟樹脂“PVDF"，標準型應用非常廣泛，酸堿同樣適用。

【擴大流體溫度范圍】

大幅擴大標準品的使用流體溫度范圍（Max. 120℃）。

可選擇帶傳感器的類型，通過信號確認閥的開閉情況。

【3種安裝方法】

除傳統(tǒng)的法蘭安裝、底面安裝外，還增加了4螺孔法蘭安裝。

化學液體用氣控閥的標準型。

成形品連接選擇項豐富的系列。

集成閥也備有兩種可選。

行業(yè)

半導體制造工序（前工序）

【連接選擇項豐富】（AMD※※2、AMG※※2、GAMD※※2系列）

樹脂閥體：SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc, 聚氯乙烯活接頭

SUS閥體：Rc, SUS伸出管, 雙卡套

【可供應混合集成閥】（GAMD0※2A系列）

GAMD0※2A系列通過采用分割閥體結構，能以短交貨期供應混合集成閥。

標準品可選擇接頭尺寸和接頭方向、搭載的執(zhí)行器（動作分類、選擇項等）等。