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空氣粒子濃度通用潔凈標準
閱讀：2483 發布時間：2010-11-25
通用潔凈標準
| ISO14644-1 | 美國聯邦FED STD 209E | |||||||
| CLASS | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | CLASS | 0.5um |
| 1 | 10 | 2 |
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| 2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
|
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| 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
| 1 | 35.3 |
| 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 |
| 10 | 353 |
| 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 | 3530 |
| 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 | 35300 |
| 7 |
|
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| 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | 353000 |
| 8 |
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| 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | 3530000 |
| 9 |
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| 35200000 | 8320000 | 293000 | ||