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東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司
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美國MKS真空計(jì)在汽車行業(yè)的應(yīng)用
2022-4-24 閱讀(1557)
美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商，在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨(dú)到之處.美國MKS INSTRUMENTS電源、測量、控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)等改善了設(shè)備的完好率和產(chǎn)品成品率，提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能．
MKS 是優(yōu)良生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一， 其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件生產(chǎn)， 平板顯示器， 光學(xué)儲存介質(zhì)， 玻璃鍍膜， 光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備。 MKS 前瞻性的創(chuàng)新開發(fā)， 推動其產(chǎn)品一直處于技術(shù)地位。 MKS 的電源， 測量， 控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)， 改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率， 提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。
MKS流量計(jì),MKS薄膜真空計(jì),MKS傳感器,MKS開關(guān),MKS壓力傳感器,MKS真空硅
按照真空計(jì)測量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
真空計(jì)波爾登規(guī)（Bourdon）
波爾登規(guī) 如右圖所示，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
