博達微FS-Pro半導體參數測試系統

FS-Pro 半導體參數測試系統是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備，在一個系統中實現了電流電壓 (IV) 測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統中完成。其全面而強大的參數測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發和評估進程，并可與概倫 9812 系列噪聲測試系統無縫集成，其快速 DC 測試能力進一步提升了 9812 系列產品的噪聲測試效率。

FS-Pro 釆用工業通用的 PXI 模塊化硬件架構，系統擴展性強， 還支持多通道并行測試，可進一步提升測試效率。系統內置專業測試軟件 LabExpress 為用戶提供了豐富的測試預設和強大的測試功能，可實現非常友好的用戶即插即用體驗。

FS-Pro 可廣泛應用于各種半導體器件、LED 材料、二維材料器 件、金屬材料、新型*材料與器件測試等。

基于在產線測試與科研應用方面的優異表現，FS-Pro 不僅被眾 多芯片設計公司和代工廠、IDM 公司釆用，其全面的測試能力更在科研學術界受到了廣泛關注和認可，目前已被數十所國內外高校及科學研究機構所選用。

博達微FS-Pro半導體參數測試系統產品優勢

應用范圍：

被半導體工業界和眾多大學及科研機構釆用作為標準測試儀器

集成功能：

高速高精度 IV/CV測試能力

脈沖式 IV測試能力

任意線性波形發生與測量能力

高速時域信號釆集能力

與 9812 對準的低頻噪聲測試能力

使用方式：

通過內置專業軟件 LabExpress 的豐富功能實現測試

操作簡單靈活，無需編程即可實現自由的波形發生或電壓同步與跟隨

系統架構：

PXI標準機箱，可擴展架構,支持通過多機箱擴展SMU卡數量

支持并行測試：

內置功能強大的測試算法

支持多通道并行測試

成倍提升測試效率

硬件規格

寬量程：200V 電壓，1A 直流電流

高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度

噪聲測試帶寬：高精度最高 100kHz，超低頻最高 40Hz

噪聲測試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）

內置脈沖測試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50us 脈寬

內置 CV測試：200V/10kHz，低可測至 20fF

外置 CV 測試模塊：40V/2MHz（高精度型）

40V/10MHz（高帶寬型）

高速時域信號采集：最小采樣時間 < 1us，10 萬點數據

噪聲測試最小阻抗：500Ω

噪聲測試分辨能力：低 2e-28A2/Hz

噪聲測試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz

高精度快速波形發生與測量套件 ：2 通道，SMA 接口

快速 IV 測試：±10V 電壓，最大 10mA 電流

SMU 直通：±25V 電壓輸入，最大 100mA 電流

100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達 130ns

軟件功能

FS-Pro 系列內置 LabExpress 測量軟件具有強大的測試和分析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設定，具有下列主要功能：

• 完整支持直流、脈沖、瞬態、電容、噪聲測試、任意波形發生與測量功能

• 支持長程 Stress 測試，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp， J-Ramp）可靠性測試

• 內置的常見器件測試預設可大大提高測試設置效率，幫助新手操作者快速完成測試

• 強大的自定義設定功能可以靈活編輯電信號

• 內置強大數據處理能力可測試后直接展幵器件特性分析多種數據保存方式，導出數據可供用戶后續分析研究也可直接導入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進行模型提取 和特性分析

• LabExpress 專業版支持對主流探針臺和矩陣幵關設備的控制，支持晶圓映射、并行測試實現自動測試功能，進—步提升測試效率

產品應用

新型材料與器件測試

半導體器件可靠性測試

半導體器件超短脈沖測試

半導體器件無損探傷與測試

光電器件和微電子機械系統測試

半導體器件超低頻噪聲領域測試

應用實例