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等離子清洗機在半導體上的清洗應用

時間:2021/2/27閱讀:461
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等離子清洗機在半導體上的運用,在IC芯片制造領域中,等離子體處理設備已是一種不可替代的成熟工藝,不論在芯片源離子的注入,還是晶元的鍍膜,亦或是低溫等離子體表面處理設備所能達到的:在晶元表面去除氧化膜、有機物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤性。

等離子清洗機目前廣泛應用于電子行業、手機制造業、汽車制造業、紡織行業、生物醫藥、新能源行業及航天航空領域等方面。如電子產品中,LCD/OLED屏的涂覆處理、PC塑膠框粘結前處理;機殼及按鍵鈕等結構件的表面噴油絲印;PCB表面的除膠除污清潔、鏡片膠水粘貼前的處理;電線、電纜噴碼前的處理;汽車工業車燈罩、剎車片、車門密封膠條的粘貼前的處理;機械行業金屬零部件的細微無害清潔處理;鏡片鍍涂前的處理;各種工業材料之間接合密封前的處理;三維物體表面的改性處理等等。

 等離子清洗機也叫等離子表面處理儀,等離子處理機,plasma cleaner,電漿機,等離子是物質的第四態,由離子,電子,原子,活性基團,激發態,光子等沖擊清洗物體的表面,從而達到有效去除物體表面污漬的目的,實現表面活化,改良。

等離子清洗機現廣泛應用于實驗,科研,醫學,LCD,LED,鍵合,鍍膜,印刷,焊接前等生產領域。

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