等離子清洗機在COG-LCD組裝技術(shù)中的應(yīng)用

在目前的ITO玻璃清潔工藝中，大家都在嘗試利用各種清洗劑（酒精清洗、棉簽＋檸檬水清洗、超聲波清洗）進行清洗，但由于清洗劑的引入，會導(dǎo)致由于清洗劑的引入而帶來其他的相關(guān)問題，因此，探索新的清洗方法成為各廠家的努力方向。而采用等離子清洗機來對ITO玻璃進行表面清潔，是比較有效的清潔方法。等離子清洗機處理ITO表面，提升OLED穩(wěn)定性

等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機是高精度的干法清洗設(shè)備，清洗范圍為納米級別的有機和無機污染物，ICD行業(yè)中的ITO玻璃在運送和濕法清洗后，表面殘留的有機溶液和無機顆粒，成為影響IC貼合到ITO玻璃上的主要因素。　　
通過等離子清洗機的干式洗凈工藝后的LCD及其電極ITO，潔凈度、粘結(jié)性得到大大改善

等離子體清洗機能去除金屬、陶瓷、塑料、玻璃等表面的有機污染物，并顯著改變這些表面的附著力和焊接強度。電離過程易于控制和安全重復(fù)。等離子清洗機表面處理是提高產(chǎn)品可靠性和工藝效率的關(guān)鍵，通過表面活化，等離子體清洗機可以提高大多數(shù)物質(zhì)的性能：清潔度、親水性、拒水性、內(nèi)聚性、可伸縮性、潤滑性和耐磨性。