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等離子清洗機對產品表面進行處理帶來表面清潔、改性的效果,提高產品的附著力、粘結力、浸潤性等特性。
1、等離子清洗機提高粘接能力,等離子處理設備可在材料表面增添化學功能鍵實現表面活化,提高粘接性能
2、等離子清洗機提高浸潤性,等離子體在材料表面進行化學反應,提高表面能
3、等離子清洗機提高材料表面潔凈度,提高粘接、涂漆、印刷、著色等工藝前的表面附著力
4、使用等離子清洗機針對薄膜材料活化處理,可以解決覆膜開膠問題
5、等離子清洗機提高表面阻隔力、提高表面防腐抗氧化能力,改變光學透反射性能
等離子清洗機在去除光刻膠方面的具體使用:
等離子清洗機的應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、晶圓凸點、消除靜電、介電質刻蝕、有機污染去除、晶圓減壓等。使用等離子清洗機不僅能去除光刻膠等有機物,還能活化加粗晶圓表面,提高晶圓表面的浸潤性,使晶圓表面更加具有粘接力。
晶圓光刻蝕膠等離子清洗機與傳統設備相比較,有很多優勢,設備成本不高,加上清洗過程氣固相干式反應,不消耗水資源,不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑,這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝。等離子清洗機刻蝕設備解決了濕法去除晶圓表面光刻膠反應不準確、清洗不干凈、易引入雜質等缺點。不需要有機溶劑,對環境也沒有污染,屬于低成本的綠色清洗方式
作為干法清洗等離子清洗機可控性強,一致性好,不僅去除光刻膠有機物,而且還活化和粗化晶圓表面,提高晶圓表面浸潤性
晶圓清潔-等離子清洗機用于在晶圓凸點工藝前去除污染,還可以去除有機污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化
本公司不僅提供標準的等離子清洗機,且可根據用戶的需求進行不同的定制設計從而滿足客戶特定的生產環境和處理工藝需求。
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