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導體電阻率測試儀的主要指標如下：
1.測量范圍：電阻率10-3—103Ω-cm，分辯率為 10-4Ω-cm ，可擴展到105Ω-cm
方塊電阻10-2—104Ω/□，分辯率為10-3Ω/□，可擴展到106Ω/□
薄層金屬電阻10-4—105Ω，分辯率為10-4Ω
2.可測半導體材料尺寸：直徑Φ15—Φ125mm; 長度：150mm(可擴展500mm)
3.測量方式：軸向、斷面均可
4.數字電壓表：(1)量程：20mV(分辯率：10μV)、200mV、2V
(2)測量誤差：±0.3%讀數±1字
(3)輸入阻抗：大于108Ω
(4)顯示3 1/2 位紅色發光二極管(LED)數字顯示
0---1999具有極性、過載、小數點、單位自動顯示
5. 恒流源：由交流供電，具有良好的防泄漏隔離功能
(1)直流電流：0—100mA連續可調
(2)量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3)分辯率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
(4)電流誤差：±0.3%讀數±2字
6.電性能模擬考核誤差：<±0.3%符合ASTM指標
7 .測試探頭：(1)探針機械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指標
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