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本測試裝置為綜合性測試系統，設計為測試臺結構，主要由先進的多功能樣品夾具，高精度數字電壓表、寬量程高穩定直流恒定電流源，微處理機系統等部分組成，多功能樣品夾具由特殊導電合金精密加工而成，接觸良好，導電性能好，具有定位精度高等特點，高精度數字電壓表靈敏度高、用LED 4 1/2位數字顯示。
四探針電阻率測試儀的其它功能，按儀器說明書的指標要求進行檢查，判斷是否合格。按儀器說明書的要求，在電阻率測試儀測量范圍內，選擇相對就的標準樣片作為被測對象對標準樣片中心點（0.25mm以內）的電阻率進行正反向各10次測量，并按（11）式計算電阻率的相對誤差。對探針壓痕直徑及其間距的檢定，其要求和方法與探針檢定相同。
用標準樣片檢定電阻率測試儀，由檢定結果中找出zui大的相對誤差，如果zui大相對誤差超過儀器標定的準確度，則說明儀器超差。對于檢定后的各項指標都合格的電阻率測試儀，出具檢定合格證書。在證書中注明標準樣片的實際值和測量值，給出測量的誤差值，給出探針頭的修正系數。如果用戶要求給出全部探針指標，也可近十萬大山 要給出全部探頭指標，若探頭為不合格，則必須指出哪項指標或n項指標不合格。對自動或半自動電阻率測試儀，只要有一項功能不合格要求時，就按不合格儀器處理。對于檢定后的有一項以上指標不合格的電阻率測試儀，出具檢定結果通知書并在通知書中注明不合格項目。此外在檢定證書或通知書中一股不用給檢定總不確定度，若用戶需要可滿足用戶要求。但必須注明，檢定時的溫度、、相對溫度及實驗室條件等項目。對檢定后不合格的電阻率測試儀經修理后仍需要重新按檢定要求檢定。
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