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技術文章

管式爐使用方法

閱讀:83          發布時間:2025-6-11

一、管式爐基本結構

爐體:加熱區、保溫層

加熱元件:電阻絲(如Kanthal)、硅碳棒、硅鉬棒等

爐管:石英管(≤1200℃)、剛玉管(≤1600℃)、不銹鋼管(≤1000℃)

控制系統:溫控儀、程序設定、熱電偶(K型、S型等)

氣路系統(可選):進氣閥、流量計、尾氣處理裝置

真空系統(可選):機械泵、分子泵

二、操作前準備

1. 安全檢查

? 電源檢查:確認電壓(220V/380V)與設備匹配,接地良好
? 爐管檢查:無裂紋、無污染,確保密封性(O型圈完好)
? 氣路檢查(如使用氣氛):氣瓶壓力正常,管路無泄漏
? 熱電偶位置:插入深度合適(通常位于爐管中間)

2. 樣品準備

樣品需干燥、無揮發性物質

使用合適的坩堝(石英、剛玉、石墨等)

樣品不宜堆積過多,確保氣流均勻

3. 爐管安裝

確保爐管兩端固定牢靠

使用耐高溫密封墊(如石墨墊片)

如通入保護氣體,需檢查氣密性(可用肥皂水檢測)

三、管式爐操作步驟

1. 開機與程序設定

接通電源,打開控制面板

設置溫度程序(以PID控制器為例):

手動模式:直接設定目標溫度(如1000℃)

程序模式(多段控溫):

① 室溫 → 300℃(升溫速率5℃/min)  

② 300℃ → 800℃(升溫速率10℃/min)  

③ 800℃保溫2小時  

④ 800℃ → 室溫(自然冷卻或設定降溫速率)  

啟動加熱(按“RUN"鍵)

2. 氣氛控制(如使用)

惰性氣體(N?、Ar)

先抽真空(如設備支持)

通入氣體(流量通常5~20 sccm)

保持微正壓(防止空氣進入)

還原性氣體(H?)

需特別注意安全,尾氣點燃或使用氫氣球檢測泄漏

3. 運行監控

觀察溫度曲線,確保升溫穩定

記錄關鍵參數(溫度、時間、氣體流量)

異常處理

溫度不升 → 檢查加熱元件、熱電偶

溫度波動大 → 調整PID參數(可嘗試自整定)

漏氣 → 立即關閉氣源,檢查密封

4. 降溫與關機

程序結束后,爐溫降至<200℃ 再打開爐管

關閉氣路(如使用氣氛)

關閉電源,填寫設備使用記錄


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