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FS1015氣體質量流量傳感器適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。
FS1015CL氣體質量流量傳感器:FS1015CL氣體質量流量傳感器產品簡介：
FS1015CL系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類醫學用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。
適用介質:空氣、笑氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、氬氣等
產品特點：
專為小氣體的流量計量需求而設計
高靈敏度，應用熱式質量流量計原理可測量低至8mm/sec的流體流量
無旁通結構，低壓損
傳感器的零點穩定度高
經消毒液殺菌處理后可重復使用
自動轉換量程的開關設計提高了測量精度
主機設備上的用戶界面可輕松實現線性輸出
美國Siargo氣體流量傳感器FS1015CL
FS1015CL流量傳感器FS1015CL-150L/min
FS1015CL流量傳感器FS1015CL-150L/min
技術參數：
| 產品 | FS1015CL | 單位 | |
| 流量范圍 | 0~100 / 0~150 | SLPM | |
| 量程比 | 100：1 | ||
| 精度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
| 重復性 | 0.25 | % | |
| 零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
| 輸出飄移 | ±0.12 | %/ ℃ | |
| 響應時間 | 8 | ms | |
| 工作電壓 | 5±1% | Vdc | |
| 輸出方式 | 線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
| zui大流量壓損 | 1300 | Pa | |
| zui大工作壓力 | 0.2 | MPa | |
| 工作溫度 | -10~+55 | ℃ | |
| 儲存溫度 | -20~+65 | ℃ | |
| 工作濕度 | <95%RH(無結冰、無凝露) | ||
| 電氣接口 | 5針插座，AMP 103956-4 | ||
| 機械接口 | ISO-15mm | ||
| 校準方式 | 空氣，20℃，101.325kPa | ||
| 重量 | 21.5 | g | |
