激光光譜原位分析儀(LIBSOPA-100)是激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析技術(shù)（LIBS）和原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)（OPA）結(jié)合的新型分析儀器。激光誘導(dǎo)擊穿光譜原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)(LIBSOPA)通過(guò)高能激光聚焦于樣品表面，樣品被擊穿形成高溫等離子體，通過(guò)檢測(cè)等離子體光譜信號(hào)，獲得樣品的成分及元素分布信息的技術(shù)。

其分析原理是：樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體，等離子體光線經(jīng)過(guò)濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)。根據(jù)光譜特征譜線波長(zhǎng)得出被擊穿位點(diǎn)的元素種類(lèi);定標(biāo)后對(duì)應(yīng)譜線的強(qiáng)度表示被擊穿位點(diǎn)元素的濃度。借助精密三維移動(dòng)平臺(tái)在樣品激發(fā)表面很好的定位和記錄，實(shí)現(xiàn)任意點(diǎn)掃描，一維線性掃描，一維深度分析和二維面掃描分析，并據(jù)此獲得與材料原位置相對(duì)應(yīng)的各元素原始含量及狀態(tài)信息，可以用統(tǒng)計(jì)解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。

該方法不但有激光光譜的非接觸分析，微區(qū)分析，深度分析的優(yōu)點(diǎn)，又具備原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)的原位性和統(tǒng)計(jì)性。LIBSOPA-100的研制成功為材料成分分析，缺陷分析，涂鍍層等樣品的分析應(yīng)用提供了新的技術(shù)手段及質(zhì)量判據(jù)。