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中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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徠卡DM750 M金相顯微鏡觀察納米線半導(dǎo)

時(shí)間:2025/6/17閱讀:23
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徠卡 DM750 M 金相顯微鏡是一款性能出色的顯微鏡,可用于觀察納米線半導(dǎo)體,以下是相關(guān)介紹:


顯微鏡特點(diǎn)

  • 光學(xué)性能優(yōu)異:基于徠卡研究型顯微鏡系列相同的光學(xué)平臺(tái),能提供清晰、高質(zhì)量的圖像,無(wú)應(yīng)力物鏡和聚光鏡確保樣品成為影響偏光因素,有助于準(zhǔn)確觀察納米線半導(dǎo)體的光學(xué)特性。

  • 多種照明模式: LED 反射光照明,提供明場(chǎng)、偏振光和傾斜光照明模式。通過(guò)不同的照明模式,可以突出納米線半導(dǎo)體的不同特征,例如偏振光模式可用于研究納米線的晶體結(jié)構(gòu)和光學(xué)各向異性。

  • 高放大倍數(shù):擁有 4 孔或 5 孔物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)的機(jī)座,可裝備全系列的物鏡組,放大倍數(shù)從 50 倍到 1000 倍,能夠滿(mǎn)足從低倍到高倍觀察納米線半導(dǎo)體的需求,便于觀察納米線的整體形態(tài)和細(xì)微結(jié)構(gòu)。

  • 載物臺(tái)適配性好:機(jī)械載物臺(tái)可同時(shí)適配透射光和反射光應(yīng)用,能裝配多種樣品夾來(lái)固定不同直徑尺寸的試樣,方便對(duì)納米線半導(dǎo)體樣品進(jìn)行操作和觀察。


觀察前準(zhǔn)備

  • 樣品制備:首先需要將納米線半導(dǎo)體樣品固定在合適的載玻片或樣品臺(tái)上。如果納米線是生長(zhǎng)在襯底上,如通過(guò)金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)或分子束外延(MBE)等方法在 GaAs 或 Si 襯底上生長(zhǎng)的 InGaAs - AlGaAs 納米線,可直接將襯底固定在樣品臺(tái)上。如果納米線是粉末或懸浮液形式,則需要將其均勻分散在載玻片上,并進(jìn)行適當(dāng)?shù)墓潭ê透稍锾幚恚苑乐乖谟^察過(guò)程中納米線移動(dòng)。

  • 選擇物鏡:根據(jù)納米線的尺寸和觀察要求,選擇合適倍數(shù)的物鏡。對(duì)于較粗的納米線或需要觀察整體分布的情況,可先使用低倍物鏡(如 50 倍或 100 倍)進(jìn)行初步觀察;對(duì)于需要觀察納米線細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu),如納米線的表面形貌、內(nèi)部結(jié)構(gòu)等,則需要使用高倍物鏡(如 500 倍或 1000 倍)。

  • 校準(zhǔn)顯微鏡:在觀察前,需要對(duì)顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn),包括光路校準(zhǔn)、光源校準(zhǔn)和物鏡校準(zhǔn)等。確保顯微鏡的光路系統(tǒng)正常,光源亮度均勻且強(qiáng)度適中,物鏡的焦距和放大倍數(shù)準(zhǔn)確無(wú)誤。


觀察步驟

  1. 放置樣品:將制備好的納米線半導(dǎo)體樣品放在載物臺(tái)上,使用樣品夾固定好,然后通過(guò)載物臺(tái)的移動(dòng)旋鈕,將樣品移動(dòng)到視野中心位置。

  2. 選擇照明模式:根據(jù)樣品的特性和觀察目的,選擇合適的照明模式。例如,對(duì)于具有晶體結(jié)構(gòu)的納米線半導(dǎo)體,可選擇偏振光模式,以觀察其晶體的光學(xué)性質(zhì);對(duì)于需要觀察表面形貌的納米線,可選擇明場(chǎng)或傾斜光模式,以突出表面的細(xì)節(jié)特征。

  3. 調(diào)節(jié)焦距:通過(guò)旋轉(zhuǎn)粗調(diào)焦旋鈕和微調(diào)焦旋鈕,使納米線半導(dǎo)體樣品的圖像清晰聚焦。在調(diào)節(jié)焦距時(shí),要注意從低倍物鏡開(kāi)始,逐漸轉(zhuǎn)換到高倍物鏡,每次轉(zhuǎn)換物鏡后都需要重新微調(diào)焦距。

  4. 觀察與記錄:仔細(xì)觀察納米線的形態(tài)、尺寸、分布等特征,并記錄下來(lái)。同時(shí),注意觀察納米線在不同照明條件下的光學(xué)表現(xiàn),如顏色、亮度、對(duì)比度等。如果顯微鏡配備了圖像采集系統(tǒng),可以拍攝照片或錄制視頻,以便后續(xù)進(jìn)一步分析。

  5. 分析與研究:根據(jù)觀察到的納米線半導(dǎo)體的特征和光學(xué)表現(xiàn),結(jié)合相關(guān)的材料科學(xué)知識(shí)和技術(shù),對(duì)納米線的結(jié)構(gòu)、性質(zhì)和生長(zhǎng)機(jī)制等進(jìn)行分析和研究。例如,通過(guò)觀察納米線的直徑分布,可以了解其生長(zhǎng)的均勻性;通過(guò)觀察納米線的晶體結(jié)構(gòu),可以推斷其生長(zhǎng)方向和生長(zhǎng)條件等。


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