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疫情阻隔了不少人春節返鄉的腳步，卻不能阻隔Nano-Master高品質的服務。近日，中科綠谷（深圳）醫療有限公司購買的磁控濺射NSC-3500系統順利安裝驗收！

該系統為緊湊型獨立式PC計算機控制的向下濺射系統，具有DC直流濺射能力。用于Au及Cr金屬以及強磁性材料的濺射鍍膜。

系統通過Lab View軟件和觸摸屏進行操作、觀察和控制。設備提供完整的安全聯鎖功能，菜單驅動，可以保存無*的程序，每個程序可根據客戶需要設定多步驟。

系統包含狀態指示、圖形和文字方式的實時顯示。4級密碼授權訪問控制，全自動工藝控制，具有高度的可重復性和優異的控制能力。

Nano-Master磁控濺射的優勢

優異的均勻性數據（6"晶圓片上鍍金屬薄膜）

均勻度測試結果：規格+/-5%，測量6"經驗片上的膜厚，鍍Ti，Pt和Au，總膜厚2800埃。實際測量結果 <1%。詳細數據如下圖。