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等離子清洗機產品特點：
u 可模擬生產條件，便于小批量中試生產。
u 桌面型，占用空間小。
u 性能穩定，操作簡便，使用成本低，易于維護，性價比高。
u 有效處理面積大，可處理8寸硅片去膠等應用。
u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品，進行清洗和改性。
等離子清洗機技術參數：
型號 | CPC-12 | CPC-12plus |
艙體尺寸 | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
艙體容積 | 12.8L | 12.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
射頻功率 | 10-300W可調 | 10-300W可調 |
氣體控制 | 質量流量計（MFC）（標配單路，可選雙路） | |
最大處理尺寸 | Φ370mm圓盤 | |
產品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包裝尺寸 | L750xW640xH570mm | |
時間設定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內 | |
電 源 | AC220V 50-60Hz | |
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