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上海相澤機械設備有限公司
主營產品： BURKERT,BURKERT隔膜閥,BURKERT角座調節閥,BURKERT傳感器,BURKERT流量計 |
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2022-3-23 閱讀(315)
德國HYDAC賀德克壓力傳感器將壓力(一般指液體或氣體的壓力)轉換為電信號輸出,
該壓力電信號也可進而用于測量靜態流體的液位,因此可用來測量液位。
賀德克壓力傳感器的敏感組件主要有硅杯敏感元件、硅油、隔離膜片和導氣管組成,
被測介質壓力P通過隔離片和硅油傳遞到硅杯元件的一-側(見圖) ,大氣參考壓po通過導氣管作用到硅杯元件的另- -
側,硅杯元件是一個底部加工 得很薄的杯形單晶硅片。
杯底膜片在壓力P和Po做用下產生位移極小的彈性變形,單晶硅是理想的彈性體,
變形與壓力成嚴格的正比關系,而且復原性能又好。
硅膜片_上用半導體擴散工藝形成的四個橋路電阻布置成方形,當硅膜片受到壓力產生變形時,
處于對角線上的二電阻受壓應力,而另為二個電阻受張應力,由于擴散硅的壓阻效應,
使相對的二個電阻阻值增大,二另為二個電阻阻值減小。
如果在A-A二端上加上電壓,則C-D間就有一個P-Po差壓成正比的電壓信號輸出
