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金剛石是一種純碳物質,也是鉆石的原石。
近年來,隨著開發技術難題的攻克,具有晶瑩質感的鉆石不僅僅是女孩們的zui愛,也成為工程師的朋友。由于金剛石的性能,金剛石納米薄膜已經在MEMS、表面聲波(SAW)器件、熱量管理及摩擦涂層等方面得到廣泛應用。
金剛石生長從應用技術上講需要將納米薄膜置于硅晶片上生長。這個技術挑戰的關鍵,是金剛石外延生長不能直接在晶片上進行,需要在生長前先將金剛石納米顆粒種植于晶片上。競爭性的生長過程中,往往導致表面變粗糙,不利于金剛石生長的關鍵應用。
為了克服表面粗糙的難題,來自卡迪夫大學、英國帝國學院和牛津大學的研究學者們組建的開發團隊,共同開發出一套全新工藝,顯著地降低了薄膜表面粗糙的問題。
研發人員使用Logitech Tribo臺式化學機械拋光設備,開發出了一套使用聚氨酯/聚酯拋光布和堿性硅膠拋光液的新方法,*解決了薄膜表面粗糙的問題。使用原子力顯微鏡(AFM)、掃描電子顯微鏡(SEM)和X射線光電子能譜對實驗結果進行檢測,結果顯示:通過此方法,25μm²范圍內,晶片表面粗糙度從18.3nm降低至1.7nm。
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