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羅技驅動頭式研磨拋光系統
——用于“硬質材料”加工的高速研磨和拋光系統
您的應用是否需要處理硬質半導體材料,如藍寶石,氮化鎵或碳化硅?
DL/DP系統主要針對這些材料的研磨和zui后階段半自動拋光而設計。
DL系列精密研磨系統可同時處理幾何精度要求特別高的材料,可同時處理四個200mm / 8“樣品(或多個較小樣品),該系統是小型研究實驗室的理想選擇。
DP系列高速精密拋光系統主要用于拋光堅硬的材料,以滿足其表面外延質量非常高的要求。加工能力可達300mm / 12“(或多個較小的樣品),并可在每個承載頭上應用zui多50公斤的加載力。
功能包括:
1、DL&DP系統均可作為單個(DL1,DP1)或四站工作站單元(DL4,DP4)
2、DP4非常適合生產環境
3、為處理傳統上被認為“很難”處理的材料或組件提供解決方案
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