真空泵廠家對于各種真空泵抽氣速度測試的來源已久,1910年左右已經開始了真空泵抽速的理論計算,初步建立了一些真空泵抽速側試方法。標準化組織(ISO)已公布了有關真空泵抽速測試規范(IS01607/1和IS01608/1),有些國家頒布了符合本國國情真空泵抽速測試標準,如德國標準化協會的DIN28428,美國真空泵測試標準等。國內也頒布了真空泵抽速的行業測試標準,這為真空泵抽速測試標準的建立創造了必要的條件。
由于真空泵的種類繁多,真空泵抽速測試方法不統一,生產廠家在真空泵抽速測試方法上存在著一定的分歧,由于沒有法定計量單位對真空泵抽速進行測試,無法評價生產廠家的真空泵產品質量,使真空泵性能測試結果缺乏一定的可信度,用戶在真空泵的選擇上存在一定的盲目性。
隨著真空測量技術不斷進步,這些行業測試標準已經不能滿足要求,需要研究和規范真空泵抽速測試方法,建立真空泵抽速測試標準和真空泵性能綜合測試和評價系統,在計量單位開展真空泵性能指標的測試工作,使用戶客觀公正地了解真空泵的性能指標,有助于提高我國真空泵的產品質量。
抽速是真空計量的基本參數之一。通過真空泵抽速測試技術研究,制定真空泵抽速的測試規范,建立低真空泵和高真空泵的抽速測試裝置,建立低真空泵和高真空泵性能指標測試和評價系統,規范真空泵抽速測試方法,開展真空泵性能指標的測試服務,為真空泵生產廠家提供報務。
Sp=Kq*(V/S)*ln(Pi/P)
t 抽氣時間{s}
Sp 泵的名義抽速{L/S}
V 真空設備容積{L}
P 經t時間抽氣后的壓力{Pa}
Pi 設備開始抽氣時的壓力{Pa}
Kq 修正系數,與設備終止時的壓強P有關
100Pa時 Kq可取2或者1.5
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