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ⅰ.嚴重漏氣。當氣源打開并穩定后，聽到明顯的漏氣聲如絲絲聲，說明氣路有大漏。此時應將流路的流量開大，在漏氣聲出現的管路接頭附近，用肥皂水查漏。

ⅱ.一般漏氣。堵住氣路出口，觀察氣路中的轉子流量計，轉子能慢慢降到零，則不漏氣，否則漏氣。或者觀察系統壓力表，打開氣源，調節輸出壓力在0.3-0.6MPa之間，等氣路穩定后，堵住氣路出口，再關閉氣源總閥，半小時內如果壓力表有明顯的下降，說明這部分漏氣。

具體檢測漏氣部位，應分段檢測，逐步查漏。如氣源到轉子流量計或壓力表之間氣路篩查，可參照上面的方法，堵住轉子流量計或壓力表出口，轉子不降到零或壓力表有下降，再用肥皂水查漏。對一些細小精密部件如檢測器等，可堵住出口并加壓調大氣流，泡在乙醇里，有氣泡冒出處漏氣。