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 SFM3000氣體質量流量計Sensirion數字校準集成

每一個質量流量傳感器的核心都是一個基于MEMS的熱式微傳感器，可利用熱式原理測量氣體流量。傳感元件與后續信號處理電路集成在一個芯片上。這種*的集成技術——由與倫比的CMOSens® 技術提供——以非常有吸引力的成本實現出色的性能。

 

SFM3000以良好的精度和快速響應時間雙向測量高達200 slm的空氣及其他無腐蝕性氣體的流量。該傳感器以2 kHz的更新率輸出14位數字信號。信號經內部線性化和溫度補償。

SFM3000流量計以5 Vdc電源電壓工作，其數字I2C接口便于直接連接微控制器。

 

SFM3000傳感器的性能基于Sensirion的CMOSens® 技術，它將傳感器元件、信號處理和數字校準集成在一個微小芯片上。氣體流速由熱式傳感器元件測量，以提供優于其他流量測量技術的擴展動態范圍和增強的長期穩定性。

依賴該成熟的CMOSens® 技術，SFM3000非常適合于高品質批量生產，是要求苛刻和成本敏感的OEM應用的理想選擇。