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三坐標測量儀是一種效率很高的儀器，用它來測量圓度也具有很高的精度，尤其在批量測量的時候顯示出它的特點，而且，用三坐標來測量圓度，工件不需要調平和調中心，能節省不少時間，同時也減少了這兩項誤差來源，使測量誤差僅限于測量機本身的誤差和表面粗糙度的影響，減化了誤差模型。三坐標測量儀測量圓度的方法主要有：
   1． 掃描測量
          如果要掌握完整的形狀，可以采用掃描方式，采用掃描方式時，得到的是完整的輪廓，采用包容區域法進行評定。掃描方式的特點是效率稍低一些，但可以對零件輪廓進行詳細分析。兩種方法都能對圓度作出準確的測量，可以根據實際要求選用。
   2．單點測量
         采用單點觸測方式由于得到的是一些離散的點，所以采用二乘法進行計算和評價。采用二乘法進行計算時，采樣點一般為偶數，且平均分布。在用單點法進行圓度測量時，采樣點數不能太少，否則反應不了圓度的真實情況，一般要達到16 點以后即可反映被測圓的基本輪廓形狀，如果為了掌握更嚴密的形狀，可適當增加測量點數，如24，32 等。采樣時一般采用自動測量，因為手動采樣不便控制矢量方向。單點觸測方式的特點是測量效率高，對測球的磨損小。
     實測結果表明，不論是單點測量還是掃描測量，測量儀都可以得到過與圓度儀十分接近的結果，說明三坐標測量儀測量圓度具有很高的精度。但是，由于三坐標測量儀一般都采用球形測頭，球形測頭對臟物比較敏感，容易造成虛假測量，而圓度儀采用的是斧形測頭，能夠穿過臟物，因此臟物對它的影響較小。所以使用三坐標測量儀時要注意對工件的清潔。