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技術(shù)文章

四探針測試儀技術(shù)文章

閱讀:786          發(fā)布時間:2021-6-23

四探針測試儀 四探針電阻率測試儀 型號:QT-RTS-4(SDY-4替代)
 RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。
    儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
    儀器采用了新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
    本儀器于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
QT-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù):
 測量范圍 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴(kuò)展);  
 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴(kuò)展); 
 電導(dǎo)率:0.005~1000 s/cm; 
 電阻:0.001~200Ω.cm; 

可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;
四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
 機(jī)械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量大相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃;
 相對濕度:≤65%;
 無高頻干擾;
 無強(qiáng)光直射

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