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智能烘膠臺技術文章

閱讀:594          發布時間:2022-5-30

-2B型烘膠臺在半導體工藝制備過程中,主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜,具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點;可長時間連續穩定工作,可廣泛應用于生產。  
 烘膠板采用不銹鋼材料制造。  
 烘膠板規格: ≥F200mm  
 烘烤溫度:  室溫~200℃  
 控溫精度:  ±1℃ 
控溫形式:  智能溫控儀PID調節,動測溫,控溫。  
 輸入電源:AC 220V/240V  5OHz  
 整機功率:600W 
整機重量:10Kg 

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