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智能烘膠臺技術文章
閱讀:594 發布時間:2022-5-30-2B型烘膠臺在半導體工藝制備過程中,主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜,具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點;可長時間連續穩定工作,可廣泛應用于生產。
烘膠板采用不銹鋼材料制造。
烘膠板規格: ≥F200mm
烘烤溫度: 室溫~200℃
控溫精度: ±1℃
控溫形式: 智能溫控儀PID調節,自動測溫,控溫。
輸入電源:AC 220V/240V 5OHz
整機功率:600W
整機重量:10Kg