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當鉑絲加熱到800～900℃時會產生正離子發射，在鹵素氣氛中這種正離子發射將急劇增加，這就是“鹵素效應”。利用此效應制成的凍干機檢漏儀稱為凍干機鹵素檢漏儀。

    凍干機鹵素檢漏儀由鹵素檢漏傳感器和測量電路兩部分組成。檢漏傳感器是一個二極管，管內的內筒、外筒及加熱絲均由鉑制成。內筒被熱絲加熱后發射正離子，外筒收集正離子，離子流的大小經放大后由微安計（μA）指示。同時輔以音響及紅色燈光作為泄露報警。加熱電源可用直流或交流。

    根據使用條件，凍干機鹵素檢漏儀可按真空法或加壓法來進行工作。前者，先將傳感器與被檢測的凍干機真空系統相連接，并將凍干機的系統抽真空使壓力達到10～10-1Pa，再用示漏的鹵素氣體噴在凍干機有漏孔的可疑處，一旦有漏孔，示漏氣體就會侵入漏孔進入傳感器中。后者是先向被檢測的凍干機真空系統內充入高于一個大氣壓的示漏鹵素氣體，然后用傳感器的探頭在被檢測系統的外面對可疑處進行探測，一旦檢測到示漏氣體逸出部位，即為有漏孔的部位。

    傳感器的探頭通常做成吸槍形，即在傳感器前裝一條吸管，在傳感器后面裝吸氣風扇，以提高檢漏效果。示漏氣體可采用四氯化碳、三氯乙烯或氟利昂等鹵素氣體。其中以氟利昂12（R12）效果更好。