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半導體微量光子檢測顯微鏡
微光顯微鏡是捕獲半導體器件缺陷或失效點發射
微量光子的一種無損檢測設備。在電激勵作用下，電
子-空穴對或高能熱載子以光子的形式釋放出多余動
能。根據此原理，利用高增益低噪聲的相機就能精確
定位到缺陷位置。EMMI系統C主要適用于PN結漏電、氧化層崩潰、
靜電放電破壞、閂鎖效應、碰撞電離和雪崩擊穿等多
種物理場景。
半導體微量光子檢測顯微鏡
半導體微量光子檢測顯微鏡
產品特征參數
軟件圖像處理功能
8寸高壓手動氣浮探針臺
紫外、可見光、紅外顯微光學系統
2倍、5倍、10倍、20倍與50倍紅外物鏡
400 -1000 nm 或900-1700 nm響應波長
支持3000 V高壓偏置
相機與源表的一體化控制程序
應用方向
GaN與SiC 基功率器件
的漏電“熱點"定位
GaN基LEDs與結型探測
器的漏電“熱點"定位
Si基MOSFET與IGBT等功
率器件的漏電失效“熱
點"定位
GaAs基激光器光分布與
漏電“熱點"定位
常規的器件的靜態電學
參數測試。
相關系列有關于芯片失效與缺陷檢測都可以聯系我司，可看樣機測試
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