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光纖振動(dòng)位移傳感器的工作原理如下圖所示。
光纖位移傳感器的光線(xiàn)束中包括發(fā)射光纖和接收光纖,圖中P0和P1分別為發(fā)射和接收的光線(xiàn)。被測(cè)目標(biāo)具有漫反射的性質(zhì)。接收的反射光線(xiàn)被轉(zhuǎn)換成電壓輸出。相應(yīng)于P0和P1與目標(biāo)之間錐形蹤跡重疊區(qū)域的增大,輸出電壓關(guān)于位移z的曲線(xiàn)呈上升的趨勢(shì)。到達(dá)光峰值之后,隨著位移z的增加,輸出電壓按照平方反比的規(guī)律降低。
一般地,線(xiàn)性范圍1具有很高的分辨率,適用于測(cè)量微小的位移;線(xiàn)性范圍2的靈敏度較低,適用于測(cè)量較大的位移。
光纖探頭的結(jié)構(gòu)
1)標(biāo)準(zhǔn)光線(xiàn)探頭的光纖分布有三種形式,如下圖所示。
2)反射補(bǔ)償光纖探頭。若被測(cè)目標(biāo)的反射率有很大變化,可以使用自動(dòng)補(bǔ)償型的探頭。這種結(jié)構(gòu)的探頭可以在動(dòng)態(tài)反射率100∶1的范圍內(nèi)保持很高的分辨率和精度。
補(bǔ)償探頭由三個(gè)光纖束組合而成,如下圖所示。
一束發(fā)射,另兩束接收,并且具有不同的響應(yīng)特性。根據(jù)探頭模組的電子學(xué)原理,利用兩個(gè)接收光纖束的信號(hào)差補(bǔ)償反射率的變化,并且得到正比于探頭間隙的線(xiàn)性響應(yīng)。這種探頭可用于目標(biāo)平移或轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)。
3)邊緣光纖探頭于細(xì)小目標(biāo)的位移和位置測(cè)量。
由于具有高頻響應(yīng)特性,所以這種結(jié)構(gòu)對(duì)于計(jì)算機(jī)磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器、磁帶、超聲波器械和生產(chǎn)線(xiàn)的應(yīng)用是理想的方案。在這種傳感器中,發(fā)射和接收光纖束是相對(duì)布置的。光纖通過(guò)被測(cè)目標(biāo)的邊緣到達(dá)接收光纖。
當(dāng)目標(biāo)在探頭之間運(yùn)動(dòng)時(shí),收到的光線(xiàn)的強(qiáng)度就會(huì)發(fā)生波動(dòng)。用光纖測(cè)量系統(tǒng)監(jiān)視光的波動(dòng)并把它精que地轉(zhuǎn)換為位移的變化。這種高靈敏度的結(jié)構(gòu)不但可以得到較大的測(cè)量范圍,而且分辨率可以達(dá)到2.5nm。邊緣結(jié)構(gòu)有棱鏡型和彎曲型,如下圖所示。
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