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德國BECKER貝克旋片式真空泵的原理
德國BECKER貝克旋片式真空泵的原理:
旋片式真空泵泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切,兩個(或以上)旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(通常為徑向)并與定子內(nèi)壁相接觸,將泵腔分為幾個可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。通常,旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封,所以旋片真空泵一般是油封式機械真空泵。
旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強降低,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強,因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時,即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,最后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時,排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn),達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔,因而提高了極限真空度。