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蔡康SEM高精度原位冷熱臺
一、儀器用途：
SEM高精度冷熱臺是一種安裝在掃描電鏡（SEM）上研究樣品原位變溫顯微結構的附件。
產品采用液氮致冷、電阻加熱的方式，提供-190~200℃（選型）或RT~600℃（選型）的變溫環境。
產品需要與溫度控制器、致冷控制器（選配）配套使用，配套的上位機控溫軟件方便進行溫度設置及采集，提供的Labview Vis方便客戶進行定制化編程。
二、儀器特點：
•電熱、液氮可實現快速升降溫
•可增加試樣溫度監測溫度傳感器
•溫控精度高±0.1℃，可編程階梯控溫
•可以在較大的電子束流下獲得高質量圖像
•可適配SEM定制樣品架，安裝/拆卸過程簡單
•制冷完成測試后可快速（60℃/min）升溫達到RT，正常更換樣品，測試效率高。
三、儀器主要技術參數：
型號
CK200-190S
CK600-S
溫控模塊
冷熱方式
液氮制冷，電阻加熱
電阻加熱
溫控范圍
-190~200℃*
RT~600℃*
溫度穩定性
±0.1
溫度分辨率
0.1℃
升降溫速率
0~50℃/min（可定點/程序段控溫）
溫控方式
PID
溫度傳感器
熱電偶
結構特性
樣品臺尺寸
23×23mm*
樣品臺材質
銅質*
外形尺寸
75×75×23mm*
整體重量
0.28kg
基本配置
SEM原位冷熱臺x1，溫度控制器x1，制冷控制器x1（低溫配置），液氮罐x1（低溫配置），定制連接法蘭x1，溫控軟件x1，循環水系統x1，連接管若干
選配
臺式電腦/安裝支架/定制控制軟件
備注
以上均為默認參數，*為可定制項
其他可選
可按需求進行配置
四、冷熱臺應用案例：
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