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直流磁控濺射儀鍍膜原理
發布時間:2025-05-10 播放次數30次
視頻簡介

直流磁控濺射儀的工作原理基于等離子體放電和磁場約束效應:

輝光放電:在真空腔室內通入惰性氣體(如Ar),通過施加直流高壓,兩極間形成電場,引發氣體電離并產生等離子體。

磁場約束:靶材表面設置正交磁場,通過洛倫茲力約束電子運動軌跡,延長電子路徑,增加與氣體的碰撞概率,從而提高等離子體密度和濺射效率。

濺射成膜:高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子沉積到基材上形成致密薄膜。此過程需控制熱量,避免樣品灼傷。


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