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一種低溫旋轉型石英等離子表面處理裝置
發證機構:
國家知識產權局

生效日期:
2020-09-08

截止日期:
長期
認證簡介:

一種低溫旋轉型石英等離子表面處理裝置研制成功是善準人不斷拼搏、勇于創新的最好體現,打破了國外廠商對此技術的壟斷,應用此技術研發生產的VP-T系列旋轉型真空等離子處理儀成功推出,進一步鞏固了善準科技在真空等離子清洗行業的地位。

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