氧分析儀檢測氧氣先通過一個小的毛細口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，到達電極表面。傳感器的結構設計保證會有適量的氣體進入與感應電極反應產生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應電極發生氧化/還原反應，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應出氣體中的氧濃度。
氧分析儀若出現溫度低報警，首先應檢查接線是否有誤，端子是否擰緊，是否被腐蝕。如無此種情況，則應檢查保險絲是否燒斷、檢查加熱爐(冷態時)阻值是否正常、檢查熱電偶阻值，以判斷熱電偶是否燒斷，在檢測器端子上測量熱電偶內阻應小于3.5n，在轉換器端子上測量其值應小于12Q。
如果是升溫過程正常，僅是升溫速度慢，升不到750℃或700℃，可能是功率不夠，此時應檢查可控硅是否正常導通。具體方法是先將儀表復位、緊接著測量儀表端子HTR間電壓應為交流0V左右。在650℃以上時，HTR間電壓應為交流80V左右。
氧分析儀在安裝后工作不正常，煙氣溫度都700多℃了，但是儀表盤上顯示才300多℃，這是什么原因？
正常的氧化鋯能耐受溫度達到700℃的煙氣，如果儀表顯示300多℃，說明熱并沒有加溫，常見的情況是電爐加熱絲斷了，不再加溫到700℃，但是產生的300多℃為爐子內的煙氣溫度，此時需要排查電熱絲是否斷了。氧化鋯測氧元件中一般是用熱電偶測定溫度，這就需要冷端溫度補償。如果是直插式探頭，檢查一下熱電偶信號是否正常，同時檢查一下冷端補償信號可元件是否正常。這是常見的小問題，如果沒有冷端補償，那就可能測溫元件是熱電阻，阻值一定有問題了。
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