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臭氧氣體的產生方法主要有電暈、電解、紫外線、核輻射、等離子體等。臭氧發生技術已經在食品、醫院、醫藥企業投入使用，主要有電暈放電法和電解法。用于生活飲用水處理的臭氧發生器一般是通過靜電放電的方式從氧氣或空氣中產生臭氧，臭氧發生器就是根據這個原理制造的。利用臭氧和氧氣沸點的差值法，通過分餾液化可以得到濃縮臭氧。雙原子氧通過電子輻射或暴露在紫外線輻射下自然產生臭氧。工業上用空氣或氧氣干燥，無聲放電，交流電壓5~25kV制成。此外，臭氧也可以通過低溫電解稀硫酸或加熱液氧獲得。該產品與空氣式臭氧發生器的區別在于，它一般采用封閉式結構，臭氧發生濃度高。臭氧產生后，通過氣水混合裝置，通過管道將臭氧溶解在水中使用。由于臭氧的產生條件和部件的使用壽命要求，一般采用空氣源干燥系統，這樣可以對空氣進行預處理或使用高濃度氧源，這主要是因為臭氧的產生與空氣干燥性能密切相關。