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1.光化學法：光波發出紫外線，將氧分子分解聚合成臭氧，從而產生大氣上方的臭氧層。人工臭氧是一種利用光電技術產生的波長A=185nm（10~9m）的紫外光譜，易被O2吸收，從而達到臭氧效應，在美國被稱為臭氧燈。光化學合成臭氧的優點是純度高，對濕度和溫度不敏感，重復性好。這些特點非常適合臭氧作為人類治療和儀器中臭氧的標準來源，但缺點是能耗高。

2.電化學電解：用DC電源電解含氧電解液產生臭氧氣體的方法。20世紀80年代以前，由于對電極材料、電解液和電解機理的大量研究，人們在電解生產技術方面取得了很大的進步。目前純水電解可以生產高濃度臭氧，但電解面積小，臭氧產量低。電解產生的臭氧濃度高，成分純，在水中溶解度高，具有良好的應用前景。

3.電暈放電法：電暈放電法是模仿自然閃電產生臭氧的方法。電暈是人工在氣體中交變高壓電場產生的，電暈中的自由高能離子離解O2分子，碰撞聚合成O3分子。水處理電暈放電臭氧發生技術是一種應用廣泛、相對能耗低、臭氧產量高、*高的臭氧發生器。目前單機*產量300Kg/h，基于電暈放電原理。這種方法通常消耗（1）氧氣源67千瓦時/千克O3，和（2）空氣源14~16千瓦時/千克O3。電暈放電產生臭氧的裝置由四部分組成：高壓電極、接地電極、電介質和放電間隙，以及采用冷卻和空氣源預處理技術的高濃度臭氧發生器。