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在水處理領域，純水用臭氧發生器消毒設備已被廣泛應用，無論是污水處理、廢水處理，還是凈化滅菌都已經成熟。臭氧氣是高電離電離電離產生的不穩定氣體，對病毒、細菌及其他微生物有很高的殺滅速率，能*去除有機物等污染物，無殘留污染，不會造成二次污染。

臭氧氣溶于水中形成臭氧水，可用于醫藥工業、食品加工行業的管道、生產設備、容器的浸漬和清洗，以達到消毒滅菌的目的。采用高濃度臭氧水浸泡、清洗，主要優勢有：①在細菌表面使用管道、設備和容器，經過大量清洗除去病毒；②臭氧殺滅表面殘留的細菌和病毒，簡單實用，在醫藥生產和食品加工中不會產生死角，避免使用化學消毒劑，避免產生排放和殘留污染等環境問題。

臭氧消毒中應加以控制的四個因素：①流量，也就是臭氧量和每小時流量；②臭氧與水的接觸面積；③水和臭氧的每單位時間流量；④臭氧與水的接觸時間；⑤在純水用臭氧發生器消毒設備時，臭氧必須經過氣相至液相的傳質過程，以及臭氧與水中微生物接觸的反射過程。該過程是在臭氧-水接觸反應器，臭氧混合塔中完成的。配氣裝置有配氣頭、水噴射器、管道配氣裝置等。⑥脫除傳質速率控制的污染物時，應選擇螺旋混合器、蝸輪噴油器、噴射器等傳質效率較高的裝置；⑦脫除化學反應速率控制的污染物時，應選擇接觸反應裝置，如鼓泡接觸氧化塔等，使臭氧與污染物之間的化學反應緩慢，使污染物長期保持一定的溶解氧濃度，達到分解和降解污染物的目的。