在空氣和水滅菌處理中，用于水滅菌處理的臭氧發生器對一般微生物、細菌、霉菌、酵母菌、大腸桿菌等有害物質的殺滅效果非常好，殺滅率達99%。臭氧氣體的滅菌效果來源于其強大的氧化能力。臭氧氣體具有很強的氧化性，可以破壞和分解細菌的細胞壁，迅速擴散到細胞內。它可以將細菌中必需的葡萄糖氧化酶氧化分解為葡萄糖，也可以直接與細菌、病毒反應，破壞細胞分解蛋白、大分子聚合物等，如脂類，并破壞細菌的新陳代謝和繁殖過程。

化學氧化：臭氧作為氧化劑、催化劑和精制制劑，廣泛應用于化工、石油、造紙、紡織、制藥和香料行業。臭氧氣體的強氧化作用很容易破壞烯烴和炔烴的碳鏈鍵，使其部分氧化合成新化合物。

紙漿漂白：臭氧存在于制漿造紙行業，用于漂白化學紙漿或改善機械紙漿的機械性能，減少紙漿漂白過程中的環境污染。

水處理：臭氧可以快速殺滅水中的細菌、病毒等微生物，比較*地去除有機物等污染物，避免二次污染，降低生化需氧量（BOD）和化學需氧量（COD），去除亞硝酸鹽、懸浮物，脫色。適用于城市污水處理、桶裝水處理、工業廢水處理、浴場游泳池水的回收利用。

用于水滅菌處理的臭氧發生器系統主要利用高壓臭氧放電室產生臭氧，然后通過射流混合技術將臭氧溶解在水中，形成高濃度的臭氧水。臭氧水系統具有產量大、濃度高的特點，可廣泛應用于食品、制藥工業用水、畜牧業用水、牲畜屠宰用水、污水處理等行業。