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日本yamamoto-ms電鍍溶液應力測試設備解析

通過用傳感器測量基板的應變，實時測量鍍層的內應力。

可以通過一次測量測量每個電鍍時間的應力（膜厚）。也可以在已鍍過一次的薄膜上重新鍍時測量應力。可以測量微小的壓力，這是傳統壓力計無法實現的。精密電鍍電源YPP系列的插槽中插入專用的應力計板以供使用。

特征

● 符合JIS H8626 標準。
● 即使在微弱的壓力下也能進行測量。適用于測量薄膜和晶圓等薄弱產品。（從0.5μm以上的膜厚開始可以進行精密測量）
●也可以測量其他方法無法測量的初始應力。
● 適用于精細零件。
● 傳感器獲得的數據立即輸入到與電源相連的PC 上，PC 自動計算出應力值，無需任何計算。此外，正在測量的數據使用個人計算機實時顯示和累積。

電源及壓力測量板規格