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分享TS120冷熱臺的維護保養方法
閱讀：464 發布時間：2022-9-26
冷熱臺主要使用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜、高速器件的精細電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發工夫和器件制造工藝成本。TS120冷熱臺能方便、準確、快速地找到放置在安裝臺上的樣品上所需要測試點，比如三極管的基區、發射區等，將探針和測試點可靠接觸，將配套測試儀器上設置的測試條件通過探針加到被測試管芯上，實現對管芯參數測試的目的。
在半導體芯片的生產和研制過程中，需要對芯片樣品的各項參數進行過程測試和終端測試，完成測試所需的測試對準。所采用的自動定位方法不僅節省了人力成本，提高了定位精度，又大大地提升了其工作效率。
x-y向工作臺是TS120冷熱臺中核心的部分，該產品的故障很多是維護保養不當或盲目調整造成的，所以對該產品的維護與保養就顯得尤為重要。
平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。
而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。
由于平面電機的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。
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