亚洲AV成人片无码网站玉蒲团,男人10处有痣是富贵痣,AV亚洲欧洲日产国码无码苍井空,日韩午夜欧美精品一二三四区

您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)

| 注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

18396591470

technology

首頁(yè)   >>   技術(shù)文章   >>   關(guān)于真空蒸發(fā)鍍膜如何形成優(yōu)質(zhì)薄膜

廈門(mén)韞茂科技有限公司

立即詢價(jià)

您提交后,專(zhuān)屬客服將第一時(shí)間為您服務(wù)

關(guān)于真空蒸發(fā)鍍膜如何形成優(yōu)質(zhì)薄膜

閱讀:711      發(fā)布時(shí)間:2023-7-21
分享:
  真空蒸鍍是將固體材料(簡(jiǎn)稱(chēng)蒸鍍材料)在高真空環(huán)境中加熱,沉積在特定基板上,得到薄膜的過(guò)程。真空蒸鍍工藝主要用于微電子制造有源元件、器件觸點(diǎn)和金屬互連件、高精度低溫度系數(shù)薄膜電阻器,以及薄膜電容器的絕緣介質(zhì)和電極。
  真空蒸發(fā)鍍膜
  通過(guò)真空蒸發(fā)工藝形成各種薄膜是集成電路制造的一項(xiàng)重要技術(shù)。可以通過(guò)真空蒸發(fā)沉積多種材料,例如導(dǎo)電材料、介電材料、磁性材料和半導(dǎo)體材料。
  影響薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵過(guò)程
  在真空蒸發(fā)過(guò)程中,系統(tǒng)的真空度直接影響薄膜的質(zhì)量。為了將蒸發(fā)原子或分子沉積在離蒸發(fā)源一定距離的基板上,真空室的真空度一般應(yīng)優(yōu)于6×10-2 Pa。在真空室中,蒸發(fā)材料只有在其蒸氣壓在1Pa以上時(shí)才被蒸發(fā)。為此,往往需要將蒸發(fā)顆粒加熱到1000~2000℃;對(duì)于一些耐火材料,它必須加熱到高達(dá)3000°C。
  常見(jiàn)的加熱方式有兩種
  直接加熱-將高熔點(diǎn)導(dǎo)體(如鉬、鈮、鎢或石墨、氮化硼、硼化鈦的混合物)制成各種形狀的籃子或舟,將蒸發(fā)丸放在上面,用大電流以提高溫度。
  間接加熱-有些材料在高溫下可能會(huì)被加熱的材料腐蝕,因此不應(yīng)直接放在加熱器上。這時(shí),我們可以使用一些耐熱且穩(wěn)定的材料,如氧化鋁、氧化釔或氧化鋯來(lái)制作坩堝。蒸發(fā)材料置于坩堝內(nèi),加熱器通過(guò)坩堝加熱蒸發(fā)材料。

會(huì)員登錄

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
在線留言