質(zhì)量流量控制器的優(yōu)勢(shì)
閱讀:464 發(fā)布時(shí)間:2023-3-23
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程,在工作的過程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于*低值(0.1MPa),有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于*高值(0.3MPa),有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí),無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
測(cè)量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示、累積流量自動(dòng)計(jì)量、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄、計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。
**地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以**地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品*小流量范圍可達(dá)0~5sccm,*大流量范圍可達(dá)0~200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2~100%量程比為--50:1,因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。