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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> KYOSAN JFK85TH-TC6KYOSAN 射頻電源 JFK85TH-TC6
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| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 2L39-000048-64 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型號 | JFK85TH-TC6 |
| P/N | 2L39-000048-64 | 頻率 | 3.2MHz |
| 輸出功率 | 8500W | 設備狀態 | Refurbished |
KYOSAN 射頻電源 JFK85TH-TC6 RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器，是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。KYOSAN JFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。該款射頻電源具有優良的成膜能力，在半導體薄膜工藝中得到廣泛應用，較快的成膜速度能夠在一定程度上提高產線效率。
KYOSAN 射頻電源 JFK85TH-TC6 參數規格
設備品牌：KYOSAN
設備型號：JFK85TH-TC6
AC Input：3 phase~，200~208V，50A，50/60Hz
RF Output：8500W，3.2MHz
通信接口：DEBUG，Analog I/F，Device Net
散熱方式：水冷散熱
水冷進水需求：MIN進水流量 5.5L/min
設備重量：50kg
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